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Präzisions-Leiterbreitenmessung
einfach wie noch nie: Endlich eine einfache Lösung, um Leiterbreiten genau, reproduzierbar und unter Ausschaltung des Bedienereinflusses zu messen. Bisher wurde die Leiterbreitenmessung von einem geübten Benutzer unter Verwendung eines Mikroskops mit 50X oder 100X Vergrößerung durchgeführt. Dies erforderte höchste Konzentration und Sorgfalt. Unterschiedliche Bediener führten auch zu unterschiedlichen Messergebnissen. Das neue PLG100 Präzisions-Leiterbreitenmessgerät schafft Abhilfe durch ein hochauflösendes CCD-Kamerasystem mit spezieller Beleuchtungstechnik und automatischer Bildauswertung. Eine Laser-Zieleinrichtung erleichtert das exakte Positionieren auf Feinstleiterstrukturen. |
Laserpointer zur exakten Positionierung auf Feinstleiterstrukturen 0.75 µm Auflösung +/- 1.5 µm Meßgenauigkeit |
Beleuchtung der Leiterbahnflanke durch LED-Leuchtring
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Messung der Leiterbreite am Trapezfuß und Trapezdach - ideal zur Überprüfung der Rückätzung |
Messung von Bögen Bohrversatzmessung |
Das PLG100 Leiterbreiten-Meßgerät wurde speziell für die Messung von Leiterbreite, Leiterbahnabstand, Bögen, Bohr/Pad-Durchmesser und Bohrversatz entwickelt. Das System misst Leiterbreiten bis unter 25µm mit einer Auflösung von 0.7µm. Durch das geringe Gewicht von 0.73 kg ist es einfach zu handhaben und bietet maximale Mobilität. Durch den speziell geformten Standfuß kann das Gerät auf die Leiterplatte aufgesetzt werden, ohne die Oberfläche zu beschädigen. Durch die spezielle Beleuchtungstechnik wird die Leiterbahnflanke deutlich sichtbar, so dass Messungen des Ätzfaktors ermöglicht werden. Die Messergebnisse werden im ASCII Format abgespeichert und statistisch bewertet. |
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